SiH₄ + 2O₂ = SiO₂ + 2H₂O
Si⁻⁴ - 8e = Si⁺⁴ 1 кремний восстановитель, процесс окисления
O₂ + 4e = 2O⁻² 2 кислород окислитель, процесс восстановления
В ходе реакции окисления силана кислородом образуется целый ряд промежуточных и конечных продуктов: оксид кремния (IV), оксид кремния (II), полимерные вещества;
реакция протекает со взрывом за счет образования водорода и его взаимодействия с кислородом.