1) Я боюсь, что Мария опоздает на экзамен, который должен начаться рано утром.- ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОЕ ПОДЧИНЕНИЕ
2) Когда вошла учительница, ребята встали, чтобы поприветствовать её.-ПАРАЛЛЕЛЬНОЕ ПОДЧИНЕНИЕ
3) Я неожиданно почувствовала, как напряжение спало и как легко стало у меня на душе.- ОДНОРОДНОЕ ПОДЧИНЕНИЕ